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4D XL表面缺陷测量仪

4D XL表面缺陷测量仪

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-瞬时3D表面形貌测量

-测量5微米至9毫米深的缺陷和特征

-直接测量大型组件 - 无需复制

-轻松测量复杂的几何形状

-手持式,工作站或配合机器人

基本规格

采    集                   即时,非接触式三维表面测量

测量范围                5μm-9mm深/高 缺陷和特征

视场范围(模块)   15.0 x 15.0 mm

横向采样                12.5μm

垂直分辨率              2.5μm

安    装                手持或工作站

工作距离                60毫米

软件

软件分析                4D InSpec控制和分析软件

测量模式                单次曝光模式,分辨率增强的多次曝光模式

缺陷检测                基于高度和面积阈值的特征识别

缺陷计算                最大高度,体积,面积,最大斜率,密度,纵横比,XY位置

数据显示                轮廓,3D图形,任意位置处的XY截面图

数据输出                3D表面图形,特征分析统计表

数据选取                基于信噪比的屏蔽,利用矩形ROI屏蔽算法进行分析

导入导出                将数据导出到XYZ点云

计算机                  一体式触摸屏电脑,笔记本电脑或客户自己提供

电气/机械

尺   寸                  280mmx 50mmx 70mm

光   源                  450纳米LED,平均无故障时间100,000小时

传感器                   1200 x 1200 像素, 12位 CMOS 相机

电力消耗                 4D InSpec部分<10 W;计算机系统<250 W, 120伏电压

重    量                 0.9公斤

电缆长度                 3米

工作温度                 50-86°F(10-30°C)

工作湿度                 > 98%,无冷凝

性能

本底噪声                 <2.5μm

垂直重复性              <1μm

精度(标准块)        <2%

重复性(标准块)     < 0.5%

景    深                    9mm

最小粗糙度               Ra ~120 nm

保修一年

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